应用领域
Application

半导体制造


半导体制造

超高纯石墨在半导体制造中广泛用于制造石墨舟、石墨模具等。例如,在硅片的高温扩散、氧化、退火等工艺环节,石墨舟作为承载硅片的关键器具,其高纯度可防止杂质污染硅片,确保半导体器件的性能和质量。

   

 

半导体制造

超高纯石墨在半导体制造中广泛用于制造石墨舟、石墨模具等。例如,在硅片的高温扩散、氧化、退火等工艺环节,石墨舟作为承载硅片的关键器具,其高纯度可防止杂质污染硅片,确保半导体器件的性能和质量。