半导体制造
半导体制造
超高纯石墨在半导体制造中广泛用于制造石墨舟、石墨模具等。例如,在硅片的高温扩散、氧化、退火等工艺环节,石墨舟作为承载硅片的关键器具,其高纯度可防止杂质污染硅片,确保半导体器件的性能和质量。
半导体制造
超高纯石墨在半导体制造中广泛用于制造石墨舟、石墨模具等。例如,在硅片的高温扩散、氧化、退火等工艺环节,石墨舟作为承载硅片的关键器具,其高纯度可防止杂质污染硅片,确保半导体器件的性能和质量。
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